解乐志FIB系统

FIB（聚焦离子束）是将液态金属（Ga）离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号获得电子像，此功能与SEM（扫面电子显微镜）相似，或用强电流离子对原子进行剥离，以完成微纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择的剥离和切割。

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